德國聯(lián)邦政府和巴伐利亞邦正考慮支援艾邁斯歐司朗（ams-OSRAM），增加其里根斯堡廠的光電元件研發(fā)投資。

    根據(jù)外媒報導，歐司朗要求超過 3 億歐元補貼，這將可創(chuàng)造 400 個新的高科技就業(yè)機會。該公司將利用這筆資金加大研發(fā)力度，建設新無塵室、實驗室和試生產(chǎn)線。

    這筆資金將用于支援多個項目，包括 UV-C LED、LiDAR 應用的 NIR 發(fā)射器、支援工業(yè) 4.0 應用的新元件及 Micro LED 顯示技術。此外，歐司朗也開始在里根斯堡建一條 8 吋 Micro LED 晶圓試生產(chǎn)線。

    雖然歐司朗早在 2019 年就和蘋果在實驗室合作 Micro LED 項目，但制程上仍陷瓶頸。這款Micro LED 芯片尺寸約 8um，采垂直芯片結(jié)構，因此巨量檢修難度相當高，歐司朗也為此頭痛不已，加上 Micro LED 成本仍是一大考驗，業(yè)界預期 Micro LED 搭載的 Apple Watch Ultra 手表，量產(chǎn)時間恐延至 2026 年第一季。

    歐司朗于 2021 年宣布投資 8.5 億美元擴建馬來西亞 Kulim 的 LED廠，計劃在該地 8 吋晶圓廠上投產(chǎn) Mini LED 和 Micro LED 芯片，預計明年量產(chǎn)，用于小尺寸設備。

    值得注意的是，歐司朗今年初也與半導體沉積設備領先供應商愛思強（Aixtron）宣布，愛思強的系統(tǒng)設備為下一代高分辨率 Micro LED 顯示器鋪平道路。其中，愛思強的 MOCVD 系統(tǒng)有望協(xié)助 Micro LED 批量生產(chǎn)。

    歐司朗稱，這項全新工具是世界首款全自動 AsP 反應器，提供全自動「檢測盒到檢測盒」（cassette-to- cassette）晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機制。這兩個特性結(jié)合在一起會對成品率產(chǎn)生顯著影響。此外，間歇式反應器技術還為愛思強系統(tǒng)帶來了多項優(yōu)勢：其每片晶圓的生產(chǎn)成本在當前市場上屬于最低級別，而單位潔凈室面積輸送量為最高級別。同時，該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能，能在連續(xù)運行時保持非常好的材料均勻性。

    目前這項設備能否解決瓶頸仍有待觀察，不過歐司朗執(zhí)行副總裁兼光電半導體業(yè)務負責人 Robert Feurle 表示，對于任務艱巨的項目，例如開發(fā)和生產(chǎn)適用于 AsP 和 GaN 元件的 Micro LED，愛思強正是歐司朗需要的合作伙伴。